[发明专利]一种MV级宽动态范围的电压峰值测量方法

摘要

本发明涉及一种MV级宽动态范围的电压峰值测量方法，解决现有脉冲电压测量方法不适用数MV电压测量的问题。该方法包括以下步骤：步骤一、建立氢离子径迹直径和氢离子峰值能量的对照表；步骤二、建立脉冲功率装置电压峰值与氢离子峰值能量的对应关系表；步骤三、将氢离子挑出作为待测粒子；步骤四、预估待测脉冲功率装置电压峰值的上限；步骤五、氢离子能量衰减；步骤六、形成潜径迹；步骤七、将潜径迹化学蚀刻处理；步骤八、利用显微测量设备对放大后潜径迹进行判读；步骤九、获取氢离子径迹直径；步骤十、获取氢离子峰值能量Ei1；步骤十一、计算氢离子峰值能量Eimax1；步骤十二、反算出脉冲功率装置的电压峰值。