[发明专利]一种频谱参数检测方法在审
| 申请号： | 201911282165.1 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN110940857A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 黎斌;程兴胜;贾煜晗;黎月溶;贾刚 | 申请（专利权）人： | 西安锐驰电器有限公司 |
| 主分类号： | G01R23/165 | 分类号： | G01R23/165 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 张皎 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区丈八*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种频谱参数检测方法，步骤1、采用电子束曝光系统向待测电子器件发射电子；步骤2、检测发射的电子透过待测电子器件的电子；步骤3、根据步骤2的检测结果，表征电子器件的种类及信号；步骤4、根据电子器件的种类及信号确定与电子器件对应的检测设备、检测参数；步骤5、采用检测设备，设定好检测参数，对电子器件进行频谱检测。本发明检测结果精确性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 频谱 参数 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安锐驰电器有限公司，未经西安锐驰电器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911282165.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种碱式碳酸镁超薄纳米片的合成方法
- 下一篇：一种用于道路施工的划线装置
