[发明专利]微影系统的预防维修操作方法在审
| 申请号： | 201911257046.0 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112415857A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 涂时雨;张汉龙;张晓伦;陈立锐;郑博中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本案提供一种微影系统的预防维修操作方法，包括以下步骤：将金属液滴从液滴产生器的储蓄器喷向收集器前方的激发区，将激发激光朝向激发区发射，使得金属液滴通过激发激光加热以生成极紫外(EUV)辐射，停止激发激光的发射，使液滴产生器的储蓄器减压，使液滴产生器冷却至不低于约150℃的温度，以及在不低于约150℃的温度下用固体金属材料回填液滴产生器的储蓄器。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 预防 维修 操作方法 | ||
【主权项】：
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