[发明专利]一种油浸绝缘纸复合绝缘介质的制备方法

摘要

本发明公开一种油浸绝缘纸复合绝缘介质的制备方法，包括以下步骤：(1)在磁控溅射平台中进行磁控溅射，将ZnO靶材安装在磁控溅射平台的靶位，将绝缘纸放置在靶材正下方；关闭真空室；对溅射室抽真空；真空室真空度达到≤5×10‑3Pa时开始溅射过程；(2)向溅射室中通入溅射气体，在气体环境中进行磁控溅射；在磁控溅射过程中，控制通入气体的气压和流量以及溅射过程的溅射功率和溅射时间；(3)溅射结束后，绝缘纸表面形成一层ZnO膜层，得到改性绝缘纸，经真空脱水脱气和浸油处理后，得到油浸绝缘纸复合绝缘介质。油浸绝缘纸复合绝缘介质，包括改性绝缘纸和浸渍所述改性绝缘纸的绝缘油。