[发明专利]版图优化方法有效
| 申请号： | 201911193288.8 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110929470B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 宋康;陈翰;张辰明 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种版图优化方法，包括：加入多个亚分辨率辅助图形形成版图图形；将版图图形拆分成多个区域；获得每个亚分辨率辅助图形的坐标信息；建立亚分辨率辅助图形的坐标信息与多个方向上的光强度的分布曲线；得到每个亚分辨率辅助图形的宽度，同时获得每个亚分辨率辅助图形的主导因子；得到亚分辨率辅助图形的宽度的最优尺寸；以最优尺寸的宽度对应的亚分辨率辅助图形作为参考，将其他亚分辨率辅助图形的宽度进行扩大或缩小动作，得到优化后的亚分辨率辅助图形；将多个区域的优化后的亚分辨率辅助图形进行拼接；筛选尺寸小于设定值的优化后的亚分辨率辅助图形，得到优化后的版图图形。优化了亚分辨率辅助图形，最终优化了版图图形。 | ||
| 搜索关键词： | 版图 优化 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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