[发明专利]用于指示测量装置探针位置的感应位置检测配置有效
| 申请号： | 201911058384.1 | 申请日： | 2019-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN111141199B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | T.S.库克;S.A.哈希拉 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B7/008 | 分类号： | G01B7/008;G01B7/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈茜 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于扫描探头中的探针位置测量的感应式位置检测器(IPD)包括在探针中沿中心轴线定位的两个基板，它们之间具有运动体积，其每一个包括N个旋转感测线圈(RSCs)和相应的轴向感测线圈配置(ASCC)。探针联接的导电扰动器在运动体积中沿Z(轴向)和X‑Y(旋转)方向移动。产生线圈(GC)产生变化的磁通量，其包含扰动器和线圈，且线圈信号指示扰动器和/或探针位置。扰动器的轴向投影限定具有ASCC的轴向感测重叠区域(ASOA)和具有相应的RSC的旋转感测重叠区域(RSOA)。IPD配置为使得ASOA独立于扰动器位置，且提供RSC的N个互补对(CP)，其中CP的两个线圈中的RSOA的变化的幅度对于任何扰动器位移相同。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 指示 测量 装置 探针 位置 感应 检测 配置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社三丰，未经株式会社三丰许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911058384.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
