[发明专利]曝光装置以及物品的制造方法在审
| 申请号： | 201910902159.5 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN110967935A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 中岛猛;关美津留;远藤淳生 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 许海兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种能够通过简易的结构使投影光学系统的数值孔径变化的曝光装置以及物品的制造方法。在具有将掩模的图案投影于基板的投影光学系统的曝光装置中，在投影光学系统的曲面形状的光瞳面或者其近旁配置第一光阑和第二光阑，该第一光阑为规定第一尺寸的开口径的固定光阑，该第二光阑规定比第一尺寸小的第二尺寸的开口径。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910902159.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
