[发明专利]一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴及其使用方法在审
| 申请号： | 201910873923.0 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110524414A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 郭世锋;徐公志;王永华;尹美玲 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/04 | 分类号： | B24B41/04;B24B1/00;B24B47/12 |
| 代理公司： | 11624 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 郭智<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴及其使用方法，属于晶硅加工设备技术领域，包括粗磨主轴机构和精磨主轴机构，所述粗磨主轴机构包括粗磨头组件和与粗磨头组件连接的粗磨主轴组件，所述精磨主轴机构包括精磨头组件和与精磨头组件连接的精磨主轴组件，精磨主轴机构套设在粗磨主轴机构中并与所述驱动组件相连接，用于对晶硅进行粗磨和精磨，可在晶硅的同一位置进行粗磨及精磨加工，精磨加工余量减小，效率极大提高，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 粗磨 精磨 主轴机构 晶硅 精磨头组件 主轴组件 头组件 加工设备 加工余量 磨削主轴 驱动组件 同一位置 一体机 减小 加工 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴，其特征在于，包括粗磨主轴机构和精磨主轴机构，所述粗磨主轴机构包括粗磨头组件(1)和与粗磨头组件(1)连接的粗磨主轴组件(2)，所述精磨主轴机构包括精磨头组件(3)和与精磨头组件(3)连接的精磨主轴组件(4)，精磨主轴机构套设在粗磨主轴机构中并与所述驱动组件(5)相连接，用于对晶硅进行粗磨和精磨。/n
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