[发明专利]超高真空样品转移设备及转移方法有效
| 申请号： | 201910872736.0 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112505336B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 陈志敏;丁孙安;李坊森;陆晓鸣;芮芳;凌小伦;王利;陈爱喜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N35/00 | 分类号： | G01N35/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高真空样品转移设备及转移方法，属于材料测试技术领域。该转移设备包括可拆卸连接的转移主体和辅助装置，转移主体包括进样室和真空装置，进样室两端分别安装有第一阀门和第二阀门；辅助装置包括第一冷却波纹管、第二冷却波纹管和传样装置，第一冷却波纹管的一端与传样装置连通，另一端与进样室通过第一阀门连通或断开，第二冷却波纹管的一端与进样室通过第二阀门连通或断开，另一端能够同时与目标腔室通过第三阀门连通，与传样装置连通，与移动泵组连通，第一冷却波纹管和第二冷却波纹管外周均设有冷却部件，传样装置能够抓取进样室内的样品并送至目标腔室。本发明保证了超真空环境，避免样品转移过程中被污染。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 真空 样品 转移 设备 方法 | ||
【主权项】：
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