[发明专利]锗锑碲粉体、靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201910664915.5 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110342473A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 沈文兴;白平平;朱刘;童培云;肖翀 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C01B19/00 | 分类号： | C01B19/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种锗锑碲粉体的制备方法，其包括如下步骤：S1、二元合金合成；S2、粉碎制粉；S3、均质混料；S4、三元合金粉体合成。本发明同时提出一种锗锑碲靶材的制备方法。本发明提出一种锗锑碲合金、靶材的制备方法，所制备得到的锗锑碲合金的收率大于98%；所制备得到的靶材相对密度大于98%，靶材纯度为4N或以上，相对密度高、组分均匀、微观缺陷少。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 靶材 锗锑碲 粉体 锗锑碲合金 合成 靶材纯度 二元合金 粉碎制粉 三元合金 微观缺陷 混料 均质 收率 | ||
【主权项】：
1.一种锗锑碲粉体的制备方法，其特征在于：其包括如下步骤：S1、二元合金合成：在保护气体保护作用下，取一定比例的Ge粉和Te粉、Sb粒和Te粉分别放入第一石英舟、第二石英舟内，将第一石英舟、第二石英舟分别放入管式炉中，采用阶梯升温保温方式进行加热，分别反应形成GeTe合金和Sb2Te3合金；S2、粉碎制粉：在保护气体保护作用下，将GeTe合金和Sb2Te3合金采用粉碎机破碎，得到GeTe和Sb2Te3合金粉体；S3、均质混料：按比例分别取S2所破碎得到的GeTe合金粉体和Sb2Te3合金粉体于PV桶中混合，再放入一定量的锆球于PV桶中，然后通入保护气体以排除PV桶中的空气，采用电工胶带密封PV桶，之后将PV桶放到球磨机上均质6~8h；S4、三元合金粉体合成：取S3中的均质粉体放入第三石英舟内，放入管式炉中采用阶梯升温保温方式进行加热，加热反应形成Ge2Sb2Te5合金，然后打粉、筛分得到Ge2Sb2Te5合金粉体。
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