[发明专利]一种抗电势诱导衰减的背面膜层结构、制备方法、用途及太阳能电池

摘要

本发明公开了一种抗电势诱导衰减的背面膜层结构、制备方法、用途及太阳能电池，该背面膜层结构包括自下而上依次贴附在硅基体上的氧化铝钝化层和氮化硅层，所述背面膜层结构还包括碳氮化硅层，所述碳氮化硅层设置在所述氧化铝钝化层和氮化硅层之间、或者贴附在所述氮化硅层上；所述背面膜层结构增设有具有抗氧化、抗水汽性能的碳氮化硅层，从而增强了抗电势诱导衰减效果。本发明同时公开了该背面膜层结构的制备方法、用途及包含该背面膜层结构的太阳能电池。

主权项

1.一种抗电势诱导衰减的背面膜层结构，包括自下而上依次贴附在硅基体(1)上的氧化铝钝化层(2)和氮化硅层(4)，其特征在于：所述背面膜层结构还包括碳氮化硅层(3)，所述碳氮化硅层(3)设置在所述氧化铝钝化层(2)和氮化硅层(4)之间、或者贴附在所述氮化硅层(4)上，所述碳氮化硅层(3)通过如下工艺制备：沉积温度350‑450℃，沉积功率4000‑9000W，沉积压力1300‑1800mTor，沉积占空比2:30‑2:60，沉积时间40‑220s，氨气流量1000‑7000sccm，硅烷流量500‑2000sccm，甲烷流量2000‑8500sccm；所述背面膜层结构增设有具有抗氧化、抗水汽性能的碳氮化硅层(3)，从而增强了抗电势诱导衰减效果。