[发明专利]微机械结构在审
| 申请号： | 201910584827.4 | 申请日： | 2013-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110282595A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | C.谢林 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00;G01C19/5733;G01C19/5769;G01P15/08;G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 方莉;李雪莹 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械结构。所述微机械结构包括一具有上侧面的衬底；一在所述衬底中在所述上侧面上构造的微机械的功能结构（M、F、S1、S2）；以及一在所述衬底（1；1'）的上侧面（OS；OS'）上方构造的印制导线系统（L、V；LB）；其中，所述印制导线系统（L、V；LB）具有至少两个非传导性材料（10）的绝缘层（10）和一在所述绝缘层之间的传导性材料的印制导线层（L）。 | ||
| 搜索关键词： | 微机械结构 上侧面 衬底 绝缘层 印制导线 非传导性材料 传导性材料 印制导线层 功能结构 微机械 | ||
【主权项】：
1.微机械结构，具有：衬底（1；1'），所述衬底具有一上侧面（OS；OS'）；在所述衬底（1；1'）中在所述上侧面（OS；OS'）上通过蚀刻所述衬底（1；1'）而结构化出的可动的微机械的功能结构（M、F、S1、S2）；以及在所述衬底（1；1'）的上侧面（OS；OS'）上方构造的印制导线系统（L、V；LB）；其中，所述印制导线系统（L、V；LB）具有至少两个非传导性材料（10）的绝缘层（10）和一在所述绝缘层之间的传导性材料的印制导线层（L）。
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