[发明专利]一种抛光装卸部件模块在审
| 申请号： | 201910573090.6 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110103119A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 沈凌寒;杨思远 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B37/34;B24B37/10;B24B37/30;B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 张妍;刘琰 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光装卸部件模块，包含一个装卸模块和两个抛光模块，装卸模块居中，两个抛光模块位于其两侧，所述装卸模块在与两个抛光模块排列方向相垂直的方向上有两个装卸位置，分别对应所述两个抛光模块，装卸模块可在两个装卸位置之间来回移动。所述两个装卸位置上也可以分别设置一个装卸台模块，分别对应所述两个抛光模块。本发明通过将装卸部分和抛光部分进行模块化，拼接成一个抛光装卸整体模块，这种布局简化了设备结构，提高了设备的制造效率，并且缩小设备的占地空间，而且通过装卸台模块的移动或者通过两个抛光头对应两个装卸台模块，省却了抛光头转回对应抛光垫上方后再转回来清洗，可以节省传输时间，显著提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光模块 装卸模块 抛光 装卸位置 装卸台 装卸部件 抛光头 装卸 布局简化 排列方向 设备结构 占地空间 整体模块 垂直的 模块化 抛光垫 移动 拼接 清洗 传输 制造 | ||
【主权项】：
1.一种抛光装卸部件模块，其特征在于，包含一个装卸模块和两个抛光模块，装卸模块居中，两个抛光模块位于其两侧，装卸模块包含装卸台模块，所述装卸模块上在与两个抛光模块排列方向相垂直的方向上有两个装卸位置，所述装卸台模块可在所述两个装卸位置之间来回移动，分别对应于所述两个抛光模块。
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