[发明专利]一种薄膜电感器的制作工艺以及薄膜电感器

摘要

本发明提供了一种薄膜电感器的制作工艺和薄膜电感器，步骤如下：分别在绝缘基板的正面划出外框线和第一标记线，以及在绝缘基板的背面划出外框线；在正面先附着金属钛层后再附着金属铜层；在金属铜层上覆盖负向感光膜，并对负向感光膜进行曝光，将电感图形和电极图形留在负向感光膜上；通过显影方式，露出正面电感图形和电极图形对应的金属铜层，并在金属铜层上挂镀挂镀铜；采用去膜和蚀刻的方式，在正面制出正面电极和感应线圈；设置用以连接正面电极和感应线圈的引出棒；在绝缘基板的背面制出背面电极；在背面上划出第二标记线,并切割成粒,获得薄膜电感器的侧面，在侧面制出侧面电极，侧面电极用以电连接正面电极和背面电极。

主权项

1.一种薄膜电感器的制作工艺，其特征在于，其具体步骤如下：S1：分别在绝缘基板的正面划出外框线和第一标记线，以及在所述绝缘基板的背面划出外框线；S2：在所述绝缘基板的正面先附着一层金属钛层后，再附着一层金属铜层；S3：在所述绝缘基板的正面的金属铜层上覆盖一层负向感光膜，并对所述负向感光膜进行曝光，以将电感图形以及电极图形留在绝缘基板的正面的负向感光膜上；S4：通过显影方式，以露出所述绝缘基板的正面电感图形以及电极图形对应的金属铜层，并在上述金属铜层上挂镀一层挂镀铜；S5：采用去膜以及蚀刻的方式，在绝缘基板的正面制出正面电极以及感应线圈；S6：在绝缘基板的正面设置用以连接正面电极和感应线圈的引出棒；S7：在绝缘基板的背面制出背面电极；S8，在绝缘基板的背面上划出第二标记线,并根据所述第一标记线、第二标记线、正面外框线以及背面外框线，切割成粒,以获得所薄膜电感器的侧面，并在侧面制出侧面电极，所述侧面电极用以电连接正面电极和背面电极。