[发明专利]真空阀有效
| 申请号： | 201910540200.9 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110630757B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 圆崎明 | 申请（专利权）人： | SMC株式会社 |
| 主分类号： | F16K1/36 | 分类号： | F16K1/36;F16K39/02;F16K51/02 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李成海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种真空阀，通过改进真空阀的主阀芯及副阀芯来实现小形化和构造的简略化。具有连结第一端口(15)和第二端口(16)的主流路(17)、将该主流路(17)包围的主阀座(19)、通过相对于该主阀座(19)接触离开来开闭前述主流路(17)的主阀芯(20)、形成在该主阀芯(20)的内部的副流路(21)、形成在前述主阀芯(20)的外面上的副阀座(24)、通过在前述主阀芯(20)的外部相对于该副阀座(24)接触离开来开闭前述副流路(21)的副阀芯(25)和使前述主阀芯(20)及副阀芯(25)开闭的杆(35)，前述副阀芯(25)通过由前述杆(35)直接操作来开闭前述副流路(21)，前述主阀芯(20)通过由前述杆(35)经前述副阀芯(25)操作来开闭前述主流路(17)。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 | ||
【主权项】：
1.一种真空阀，其特征在于，/n具有第一端口及第二端口、主流路、主阀座、主阀芯、副流路、副阀座、副阀芯和开闭操作机构，所述第一端口及第二端口形成在外壳上，所述主流路以将该第一端口和第二端口连结的方式形成在前述外壳的内部，所述主阀座包围该主流路，所述主阀芯通过相对于该主阀座接触离开来开闭前述主流路，所述副流路以与前述主流路呈并列的方式形成在该主阀芯的内部，所述副阀座以包围该副流路的方式形成在前述主阀芯上，所述副阀芯通过相对于该副阀座接触离开来开闭前述副流路，所述开闭操作机构开闭操作前述主阀芯及副阀芯，/n在前述外壳的内部，以滑动自由地贯通前述主阀芯的方式配设了杆，在该杆的作为轴线方向的一端的基端部连结了前述开闭操作机构，并且在该杆的作为轴线方向的另一端的前端部以在前述主阀芯的外部相对于该主阀芯接触离开的方式配设了前述副阀芯，在该主阀芯的外面的前述副阀芯抵接的部分上形成了前述副阀座，/n前述副阀芯通过由前述杆直接操作来开闭前述副流路，/n前述主阀芯通过由前述杆经前述副阀芯操作来开闭前述主流路。/n
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