[发明专利]一种真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201910400704.0 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN110029323B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 孙启敬;孙剑;高裕弟;洪耀;朱松山;张民井 | 申请（专利权）人： | 枣庄睿诺电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 277000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种真空镀膜设备，其包括：真空镀膜腔室，包括腔室门和对所述基板进行真空镀膜的至少一个真空制程腔，所述真空制程腔设于所述腔室门内；大气传输腔室，包括至少一个对镀膜后的所述基板进行散热的大气腔；以及移动装置，将所述基板移动至所述真空镀膜腔室或者所述大气传输腔室的输入端；其中所述大气传输腔室的数量少于所述真空镀膜腔室的数量。通过设置镀膜真空室的数量大于大气传输腔室的数量，使得同一大气传输腔室可输入不同真空镀膜腔室内的基板，由此提高了大气传输腔室的利用率，从而提高了镀膜设备的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜设备，其特征在于包括：真空镀膜腔室，包括腔室门和对所述基板进行真空镀膜的至少一个真空制程腔，所述真空制程腔设于所述腔室门内；大气传输腔室，包括至少一个对镀膜后的所述基板进行散热的大气腔；以及移动装置，将所述基板移动至所述真空镀膜腔室或者所述大气传输腔室的输入端；其中所述大气传输腔室的数量少于所述真空镀膜腔室的数量。
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