[发明专利]一种多弧离子镀阴极装置在审
| 申请号： | 201910349838.4 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110042349A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 崔岸;黄显晴;刘天赐;杨伟丽;徐晓倩;孙文龙;郝裕兴 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多弧离子镀阴极装置，包括用于安装多弧离子镀阴极装置的真空腔体装置和多弧阴极电源，多弧阴极体通过多弧阴极底座安装于真空腔体装置内；多弧阴极体与辅助阳极板通过绝缘支撑柱固定连接；凹型矩形靶固定在多弧阴极体上；电磁铁设置有多个；多弧阴极底座的两端安装绝缘密封电极，多弧阴极底座一端安装引弧装置；绝缘密封电极分别与多个电磁铁连接；控制系统调节多个电磁铁线圈的电流幅值。本发明提供了一种多弧离子镀阴极装置，通过计算机对磁场进行智能控制，使镀膜更加均匀致密，提高镀膜层均匀性和镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 多弧离子镀 阴极装置 阴极底座 阴极体 电磁铁 真空腔体装置 绝缘密封 电极 电磁铁线圈 绝缘支撑柱 镀膜效率 均匀致密 控制系统 阴极电源 引弧装置 智能控制 镀膜层 矩形靶 均匀性 阳极板 凹型 镀膜 磁场 计算机 | ||
【主权项】：
1.一种多弧离子镀阴极装置，包括用于安装多弧离子镀阴极装置的真空腔体装置和多弧阴极电源，其特征在于，还包括：引弧装置、绝缘密封电极、辅助阳极板、凹型矩形靶、多弧阴极体、电磁铁、可变电阻器、绝缘支撑柱、多弧阴极底座和控制系统；所述多弧阴极体通过所述多弧阴极底座安装于所述真空腔体装置内；所述多弧阴极体与所述辅助阳极板通过所述绝缘支撑柱固定连接；所述辅助阳极板与所述可变电阻器一端连接，所述可变电阻器另一端与所述真空腔体装置连接；所述真空腔体装置与所述多弧阴极电源的正极连接；所述多弧阴极底座与所述多弧阴极电源的负极连接；所述凹型矩形靶固定在所述多弧阴极体上；所述电磁铁设置有多个，且均匀排布于所述多弧阴极体底座上；所述多弧阴极底座的两端安装所述绝缘密封电极，所述多弧阴极底座一端安装引弧装置；所述绝缘密封电极分别与多个所述电磁铁连接；所述控制系统调节多个所述电磁铁线圈的电流幅值。
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