[发明专利]光学装置、曝光装置、光学装置制造方法和物品制造方法有效
| 申请号： | 201910341356.4 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110412704B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 中岛猛;户村聪;羽切正人;关美津留 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光学装置、曝光装置、光学装置制造方法和物品制造方法。一种光学装置包括光学部件、被配置为支撑光学部件的支撑机构、操纵机构，该操纵机构被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件，使得光学部件的状态改变。通过操纵机构将光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 曝光 制造 方法 物品 | ||
【主权项】：
1.一种光学装置，包括光学部件和被配置为支撑光学部件的支撑机构，所述光学装置包含：操纵机构，被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件，使得光学部件的状态改变，其中，通过操纵机构将光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910341356.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种耐火引入光缆及其制造方法
- 下一篇：镜头模块
