[发明专利]一种转印装置、转印装置的制作方法和转印方法有效
申请号: | 201910319730.0 | 申请日: | 2019-04-19 |
公开(公告)号: | CN109927403B | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 田文亚;郭恩卿;郭双 | 申请(专利权)人: | 成都辰显光电有限公司 |
主分类号: | B41F16/00 | 分类号: | B41F16/00;B41F33/16;B41M5/382 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 范坤坤 |
地址: | 611731 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种转印装置、转印装置的制作方法和转印方法。转印装置包括测试电极、测试电路和吸附单元。测试电极与测试电路电连接,测试电路用于对测试电极接触的微元件进行测试,吸附单元用于吸附测试合格的微元件。在转印过程中,控制测试电极与微元件接触电连接,为微元件提供测试信号。微元件在测试信号的作用下进行测试。当微元件测试合格后,吸附单元吸附测试合格的微元件进行转印,从而实现了在转印之前进行测试,并在转印过程中选择测试合格的微元件进行转印,提高了转印后的微元件的良率,并且在一次转印周期内可以完成巨量的转印,提高转印效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 装置 制作方法 方法 | ||
【主权项】:
1.一种转印装置,其特征在于,包括:测试电极和测试电路;所述测试电极与所述测试电路电连接;所述测试电路用于对所述测试电极接触的微元件进行测试;吸附单元;所述吸附单元用于吸附测试合格的微元件。
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