[发明专利]一种派瑞林彩色镀膜工艺及镀膜装置在审

专利信息
申请号: 201910317449.3 申请日: 2019-04-19
公开(公告)号: CN109881178A 公开(公告)日: 2019-06-14
发明(设计)人: 张卫兴;张振兴;庄丽叶;张荠文 申请(专利权)人: 江苏可润光电科技有限公司
主分类号: C23C16/448 分类号: C23C16/448
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 冯子玲
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种派瑞林彩色镀膜工艺及镀膜装置,属于化学气相沉积技术领域,派瑞林彩色镀膜工艺的蒸发采用仓外染料蒸发系统和仓内染料蒸发系统,派瑞林彩色镀膜工艺解决了现有技术加工的镀膜材料不易检测的问题,同时成膜特点显现,彩色品种多样化,将彩色染料粉料升华均匀沉积在加工件上,可以清楚而直观的进行检测,该工艺简单、实用、成本低,实用性强,本工艺对各种加工产品均有明显彩色效果,同时具备派瑞林自身的保护效果。
搜索关键词: 派瑞林 彩色镀膜 镀膜装置 蒸发系统 染料 化学气相沉积 彩色染料 彩色效果 镀膜材料 技术加工 加工产品 均匀沉积 加工件 检测 成膜 粉料 蒸发 直观 升华
【主权项】:
1.一种派瑞林彩色镀膜工艺,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:将彩色染料粉料装入升华杯中,将密封环密封,将加热环固定在升华杯上,将升华杯通过连接环和真空沉积室连接,并固定,将真空沉积室和加热环连接到加热控制器上;步骤2:将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空;步骤3:利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20~80℃之间;步骤4:将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体,气体进入真空沉积室;步骤5:镀膜进行到一定时间后,打开升华杯加热开关,并设定加热温度在160‑440℃之间;步骤6:到达设定温度后保持恒温10‑60min,使彩色染料粉料在升华杯内深度蒸发,在真空作用下,升华后的升华染料被吸入真空沉积室;步骤7:升华染料加热到设定时间后,关闭升华染料加热系统,继续镀膜到正常结束;步骤8:完成后,依次关闭加热电源,静置30min后,打开真空沉积室取出加工件;步骤9:将加工件放置在检测台上,进行人工检测。
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