[发明专利]一种钴配合物及其制备方法在审
| 申请号： | 201910242693.8 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN109824736A | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 逄增波 | 申请（专利权）人： | 苏州欣溪源新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C07F15/06 | 分类号： | C07F15/06 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215609 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种钴配合物及其制备方法，所述钴配合物为二羰基(三烷基硅环戊二烯基)钴配合物，具有以下式I结构： |
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| 搜索关键词： | 钴配合物 制备 环戊二烯基 二羰基 烷基硅 氧化钴薄膜 原子层沉积 反应收率 烷基基团 源材料 量化 生产 | ||
【主权项】：
1.一种钴配合物，其特征在于，为二羰基(三烷基硅环戊二烯基)钴配合物，具有以下式I结构：![]()
R代表相同的不超过五个碳的烷基基团。
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