[发明专利]一种多级渐变式自发调温的复合涂层及其制备方法

摘要

一种多级渐变式自发调温的复合涂层及其制备方法，其特征在于依次由基底层、扩散阻挡层、主调光层和减反层组成；其中扩散阻挡层为金属Ta膜，主调光层为W含量呈梯度分布的三种VO2‑W亚层，减反层为锐钛矿相TiO2；扩散阻挡层、主调光层和减反层的厚度分别为1.5～2.5nm，60～150nm，30‑60nm。先采用直流溅射法在基板上沉积金属Ta层；再采用双靶共溅射法沉积第一个VO2‑W亚层、第二个VO2‑W亚层和第三个VO2‑W亚层；然后采用射频溅射法在第三亚层上沉积锐钛矿相TiO2；最后再进行退火处理，制得多级渐变式自发调温复合涂层。本发明操作简单，重复性好，清洁无污染，实现效果良好。将会广泛应用在“智能窗”绿色建筑领域。

主权项

1.一种多级渐变式自发调温复合涂层，其特征在于依次由基底层、扩散阻挡层、主调光层和减反层组成；其中扩散阻挡层为金属Ta膜，主调光层为W含量呈梯度分布的三种VO₂‑W亚层，减反层为锐钛矿相TiO₂；扩散阻挡层、主调光层和减反层的厚度分别为1.5～2.5nm，60～150nm，30‑60nm。