[发明专利]基板处理设备及上料机台有效
| 申请号： | 201910197779.3 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN111167639B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈安顺 | 申请（专利权）人： | 群翊工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05D3/02 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 武玉琴;冷文燕 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种基板处理设备及上料机台。基板处理设备包含多个制程机台、上料机台及移载装置。上料机台包含上料装置及移载装置。上料装置包含至少一夹爪组件及开关单元。用户可以将基板设置于上料装置，而后移载装置将会被控制，而将设置于上料装置的基板，移载至制程机台中。是以，使用者可以依据需求，将具有特殊规格的基板安插在任一个制程机台前，而使具有特殊规格的基板，直接由特定的制程机台开始执行相关的制程作业。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 设备 机台 | ||
【主权项】：
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