[发明专利]加工装置在审
| 申请号： | 201910083842.0 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN110153780A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 竹之内研二 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23Q11/00 | 分类号： | B23Q11/00;B23Q11/10;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供加工装置，能够降低将不满足排水基准的加工废液排水的可能。该加工装置具有：保持单元，其对被加工物进行保持；以及加工单元，其对该保持单元所保持的被加工物进行加工，该加工装置的特征在于，其还具有：加工液提供单元，其在利用该加工单元对该保持单元所保持的被加工物进行加工时至少对被加工物提供包含氧化剂的加工液；加工废液回收部，其对包含从该加工液提供单元提供至被加工物的该加工液的加工废液进行回收；排出路，其将该加工废液从该加工废液回收部排出至该加工装置外；以及处理槽，其配设于该排出路的途中，对利用该加工废液回收部进行回收的加工废液进行贮存，并具有将该加工废液所含的加工液分解的废液处理单元。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 被加工物 加工装置 加工液 废液 废液回收 加工单元 提供单元 排出路 废液处理单元 氧化剂 排水基准 回收 处理槽 排出 贮存 排水 分解 | ||
【主权项】：
1.一种加工装置，其具有：保持单元，其对被加工物进行保持；以及加工单元，其对该保持单元所保持的被加工物进行加工，该加工装置的特征在于，其还具有：加工液提供单元，其在利用该加工单元对该保持单元所保持的被加工物进行加工时至少对被加工物提供包含氧化剂的加工液；加工废液回收部，其对包含从该加工液提供单元提供至被加工物的该加工液的加工废液进行回收；排出路，其将该加工废液从该加工废液回收部排出至该加工装置外；以及处理槽，其配设于该排出路的途中，对利用该加工废液回收部进行回收的加工废液进行贮存，并具有将该加工废液所含的加工液分解的废液处理单元。
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