[发明专利]支承基台有效
| 申请号： | 201910035875.8 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN110052958B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 松崎荣 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供支承基台，能够掌握加工点的温度。支承基台(1)对板状的被加工物(200)进行支承。支承基台(1)包含：平板状的箱体(10)，其具有支承面(11)和载置面(12)，该支承面(11)对被加工物(200)进行支承，该载置面(12)载置在卡盘工作台的保持面上，是与支承面(11)相反的一侧的面；温度测定单元(20)，其收纳于箱体(10)；以及电池(30)，其作为温度测定单元(20)的电源。温度测定单元(20)具有：温度测定器(21)，其对支承面(11)的温度进行测定；以及记录部(22)，其对温度测定器(21)所测定出的温度进行记录。 | ||
| 搜索关键词： | 支承 | ||
【主权项】：
1.一种支承基台，其对板状的被加工物进行支承，其中，该支承基台具有：平板状的箱体，其具有支承面和载置面，该支承面对该被加工物进行支承，该载置面载置在卡盘工作台的保持面上，是与该支承面相反的一侧的面；温度测定单元，其收纳于该箱体；以及电池，其作为收纳于该箱体的该温度测定单元的电源，该温度测定单元包含：温度测定器，其对该支承面的温度进行测定；以及记录部，其对收纳于该箱体的该温度测定器所测定出的温度进行记录。
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