[发明专利]用于预测层变形的系统和方法有效
| 申请号： | 201880078584.0 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111433680B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | C·巴蒂斯塔奇斯;S·A·米德尔布鲁克斯;S·F·伍伊斯特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 披露了一种方法，涉及：获得用于模拟抗蚀剂中的图案的变形过程的抗蚀剂变形模型，所述抗蚀剂变形模型是被配置为模拟作用于所述抗蚀剂的流体内力的流体动力学模型；通过使用所述抗蚀剂变形模型来执行所述变形过程的计算机模拟，以获得针对至所述抗蚀剂变形模型的输入图案的经显影抗蚀剂图案的变形；以及产生表示针对所述输入图案的所述经显影抗蚀剂图案的所述变形的电子数据。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 预测 变形 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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