[发明专利]1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物及其制备方法在审
| 申请号： | 201880059969.2 | 申请日： | 2018-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111094181A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | B·K·黄;周孝宾 | 申请（专利权）人： | DDP特种电子材料美国第9有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04;C07F7/10;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 徐舒 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物和一种制备所述1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物的方法。所述方法包括用包含有机胺化合物的胺化剂将1,1,1‑三卤代二硅烷胺化，得到包含所述1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物的反应产物，从而制备所述1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物。还公开了一种成膜组合物。所述成膜组合物包含所述1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物。还公开了一种用所述成膜组合物形成的膜和一种形成所述膜的方法。形成所述膜的所述方法包括在基材存在下使包含所述1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物的所述成膜组合物经受沉积条件，从而在所述基材上形成所述膜。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 氨基 硅烷 化合物 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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