[发明专利]光致抗蚀剂用酚醛树脂组合物及光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201880058566.6 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN111051374B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 黑岩贞昭 | 申请（专利权）人： | UBE株式会社 |
| 主分类号： | C08G8/10 | 分类号： | C08G8/10;G03F7/023 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张楠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种光致抗蚀剂用酚醛树脂组合物，其特征在于，以(A)与(B)的质量比成为5～95：95～5的量包含通式(1)所表示的酚醛清漆型酚醛树脂(A)和结构中包含亚芳基骨架及萘骨架中的至少一者的酚醛清漆型酚醛树脂(B)。(通式(1)中，R |
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| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂用 酚醛树脂 组合 光致抗蚀剂 | ||
【主权项】：
暂无信息
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