[发明专利]等离子体处理中的空间分辨光学发射光谱(OES)有效
| 申请号： | 201880052425.3 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN110998260B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 孟庆玲;霍尔格·图特耶;陈艳;米哈伊尔·米哈洛夫 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01J3/443 | 分类号： | G01J3/443;G01N21/68;G01N21/31 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王萍;杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了用于光学发射测量的方法、系统和装置。该装置包括用于通过设置在等离子体处理室的壁处的光学窗口来收集等离子体光学发射谱的收集系统。光学系统包括：镜，其被配置成穿过等离子体处理室扫描多条不重合射线；以及远心耦合器，其用于从等离子体收集光学信号并将该光学信号引导至用于测量等离子体光学发射谱的光谱仪。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 中的 空间 分辨 光学 发射光谱 oes | ||
【主权项】：
暂无信息
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