[实用新型]一种太阳晶硅生长炉用行星减速机

摘要

本实用新型涉及一种减速机，尤其涉及一种太阳晶硅生长炉用行星减速机，包括从后向前依次连接的输入法兰、输入连接盖、机座和输出轴盖，机座内设有联轴器和输出轴，联轴器的侧边和输入连接盖之间设有输入轴承，联轴器的后端两侧设有螺孔，联轴器的前端连接有第一太阳轮，第一太阳轮外齿与设于机座内壁上的齿圈之间啮合有第一行星轮，其前侧设有中间行星架，第一行星轮与中间行星架之间通过第一轴销连接，中间行星架前侧连接有第二太阳轮，第二太阳轮和齿圈之间啮合有第二行星轮，第二行星轮与输出轴之间通过第二轴销连接，输出轴与输出轴盖之间设有输出轴承，本实用新型的行星减速机可靠性高，寿命较长，且运动准确，适用于太阳晶硅生长炉。

主权项

1.一种太阳晶硅生长炉用行星减速机，其特征在于，包括从后向前依次连接的输入法兰（1）、输入连接盖（2）、机座（3）和输出轴盖（4），所述机座（3）内设有联轴器（5）和输出轴（51），所述联轴器（5）的侧边和输入连接盖（2）之间设有输入轴承（6），所述输入法兰（1）前端内侧壁上设有凸出的定位支口（7），所述定位支口（7）与输入连接盖（2）的内侧壁抵接，且定位支口（7）的前端与设于输入连接盖（2）前端内侧壁上的限位凸台（8）之间形成安装区，输入轴承（6）嵌设于安装区内，所述联轴器（5）的后端两侧设有螺孔（17），所述联轴器（5）的前端连接有第一太阳轮（9），所述第一太阳轮（9）外齿与设于机座（3）内壁上的齿圈（10）之间啮合有若干第一行星轮（11），第一行星轮（11）前侧设有中间行星架（12），第一行星轮（11）与中间行星架（12）之间通过第一轴销（151）连接，所述中间行星架（12）前侧连接有第二太阳轮（13），第二太阳轮（13）和齿圈（10）之间啮合有第二行星轮（14），第二行星轮（14）与输出轴（51）之间通过第二轴销（152）连接，输出轴（51）与输出轴盖（4）之间设有输出轴承（16），且输出轴（51）相对输出轴盖（4）向外凸出。