[实用新型]一种新型保持环及装有该保持环的化学机械抛光机

摘要

本实用新型涉及机械领域，具体涉及一种新型保持环及装有该保持环的化学机械抛光机。一种新型保持环，包括一保持环，保持环的上表面设有至少三个呈倾斜设置的第一条状凹槽，保持环的下表面设有至少三个螺栓孔；保持环包括一不锈钢制成的环状体，环状体的外侧包裹有一塑料层。本实用新型通过此设计，提供了一种新型保持环，通过不锈钢制成的环状体外包裹塑料层，环状体的表面设有多个条状凹槽，在通过注塑机进行注塑后，塑料层与环状体之间的连接更稳定，加强了结构强度，提高了使用寿命，同时降低了生产成本。

主权项

1.一种新型保持环，包括一保持环，其特征在于，所述保持环的上表面设有至少三个呈倾斜设置的第一条状凹槽，至少三个所述第一条状凹槽等间距排布在所述保持环的上表面上，所述保持环的下表面设有至少三个螺栓孔，至少三个螺栓孔等间距排布在所述保持环的下表面上；所述保持环包括一不锈钢制成的环状体，所述环状体的外侧包裹有一塑料层；所述环状体的上表面上设有至少两个第二条状凹槽，至少两个所述第二条状凹槽呈环状排布在所述环状体的上表面上；靠近所述环状体的上表面的所述环状体的内侧壁上设有第三条状凹槽，所述第三条状凹槽呈环状排布在所述环状体的内侧壁上；靠近所述环状体的上表面的所述环状体的外侧壁上设有第四条状凹槽，所述第四条状凹槽呈环状排布在所述环状体的外侧壁上。