[实用新型]一种用于烧结DBC半导体基板氮气炉的纠偏限位装置有效
申请号: | 201822134495.3 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN209926870U | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 田茂标;刘瑞生;杨海蓉;赵显萍;成彪;王燕;赵洪琼;曾洁;吴秀华;胡小容;任文彬 | 申请(专利权)人: | 成都万士达瓷业有限公司 |
主分类号: | F27D3/12 | 分类号: | F27D3/12;F27D3/00 |
代理公司: | 51211 成都天嘉专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 苏丹;郑发志 |
地址: | 611332 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于烧结DBC半导体基板氮气炉的纠偏限位装置,其特征在于包括:炉体末端、上限位块、下限位块、上传输杆、下传输杆、纠偏装置支撑杆、纠偏装置支撑杆安装轴承和纠偏装置框架,所述炉体末端设置在氮气炉的两端,所述炉体末端上设置有纠偏装置支撑杆安装轴承,所述纠偏装置支撑杆安装轴承之间设置有纠偏装置支撑杆,所述纠偏装置支撑杆穿过纠偏装置框架,所述纠偏装置框架上设置有上传输杆和下传输杆,所述上传输杆上设置有多个上限位块,所述下传输杆上设置有多个下限位块。 | ||
搜索关键词: | 纠偏装置 传输杆 支撑杆安装 炉体末端 支撑杆 轴承 上限位块 下限位块 氮气炉 半导体基板 本实用新型 限位装置 烧结 纠偏 穿过 | ||
【主权项】:
1.一种用于烧结DBC半导体基板氮气炉的纠偏限位装置,其特征在于包括:炉体末端(1)、上限位块(201)、下限位块(202)、上传输杆(301)、下传输杆(302)、纠偏装置支撑杆(4)、纠偏装置支撑杆安装轴承(5)和纠偏装置框架(6),所述炉体末端(1)设置在氮气炉的两端,所述炉体末端(1)上设置有纠偏装置支撑杆安装轴承(5),所述纠偏装置支撑杆安装轴承(5)之间设置有纠偏装置支撑杆(4),所述纠偏装置支撑杆(4)穿过纠偏装置框架(6),所述纠偏装置框架(6)上设置有上传输杆(301)和下传输杆(302),所述上传输杆(301)上设置有多个上限位块(201),所述下传输杆(302)上设置有多个下限位块(202)。/n
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