[实用新型]一种扰流式晶圆去膜装置

摘要

本实用新型提供一种扰流式晶圆去膜装置，包含，一晶圆对位承载模块、一机械运送手臂、一去膜槽以及一扰流夹持模块；欲进行去膜时，所述机械运送手臂将整个晶圆对位承载模块运送进入所述去膜槽，并将被晶圆对位承载模块夹持的晶圆置放至所述扰流夹持模块，改由所述扰流夹持模块的多个扰流夹持板分别夹持各晶圆；完成去膜后，所述机械运送手臂将整个晶圆对位承载模块运送进入所述去膜槽内，将已完成去膜的晶圆重新夹持，再将整个晶圆对位承载模块移出去膜槽。

主权项

1.一种扰流式晶圆去膜装置，其特征在于，包含，一晶圆对位承载模块、一机械运送手臂、一去膜槽以及一扰流夹持模块；所述晶圆对位承载模块包含：多个晶圆夹持臂组、以及一第一承载座；所述多个晶圆夹持臂组以间隔方式设置于所述第一承载座上，且每一个晶圆夹持臂组可夹持或释放一晶圆；所述扰流夹持模块包含：多个扰流夹持板、以及一第二承载座，所述多个扰流夹持板以间隔方式设置于所述第二承载座上，每个所述扰流夹持板上设置有多个镂空窗，以供一液体在所述镂空窗间流动，所述扰流夹持模块设置于所述去膜槽内；所述机械运送手臂用于将整个晶圆对位承载模块运送进入所述去膜槽，并将被晶圆对位承载模块夹持的晶圆置放至所述扰流夹持模块，改由所述扰流夹持模块的多个扰流夹持板分别夹持各晶圆；并在完成去膜后，将整个晶圆对位承载模块运送进入所述去膜槽内，将已完成去膜的晶圆重新夹持，再将整个晶圆对位承载模块移出去膜槽。