[实用新型]一种LED生产用光刻装置

摘要

本实用新型公开了一种LED生产用光刻装置，包括固定座、固定架、保护壳体，所述固定架内部设置有硅片，所述硅片两侧设置有保护垫片，所述保护垫片上设置有压力传感器，所述保护垫片远离所述硅片一侧设置有固定杆，所述固定杆远离所述保护垫片一侧设置有电动推杆，所述硅片上方设置有第二光刻版，所述第二光刻版上方设置有第二盖板，所述硅片下方设置有第一光刻版，所述第一光刻版下方设置有第一盖板。有益效果在于：本实用新型不仅能对硅片进行稳定的固定工作，还能实现硅片的翻转，操作简单、方便，便于对硅片的两个面都进行加工，提高了光刻工作的效率。

主权项

1.一种LED生产用光刻装置，包括固定座、固定架、保护壳体，其特征在于：所述固定架内部设置有硅片，所述硅片两侧设置有保护垫片，所述保护垫片上设置有压力传感器，所述保护垫片远离所述硅片一侧设置有固定杆，所述固定杆远离所述保护垫片一侧设置有电动推杆，所述硅片上方设置有第二光刻版，所述第二光刻版上方设置有第二盖板，所述硅片下方设置有第一光刻版，所述第一光刻版下方设置有第一盖板，所述第一盖板和所述第二盖板上设置有橡胶固定螺栓，所述第一盖板侧面设置有角度传感器，所述第一盖板下方设置有所述固定座，所述固定架一侧设置有主动轴，所述固定架另一侧设置有从动轴，所述固定座侧面设置有所述保护壳体，所述保护壳体内部设置有电机，所述电机下方设置有控制器，所述保护壳体前部设置有功能按钮，所述功能按钮下方设置有指示灯，所述功能按钮、所述指示灯、所述电机、所述电动推杆、所述角度传感器、所述压力传感器与所述控制器电连接。