[实用新型]光阻输送管、光阻输送系统及光阻涂布设备有效
| 申请号： | 201821722333.5 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN208991163U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 单剑锋 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种光阻输送管、及具有其的光阻输送系统、及具有该光阻输送系统的光阻涂布设备，其中，所述光阻输送管为弹性中空结构，且所述光阻输送管整体呈可伸缩的螺旋状，所述光阻输送管连通于光阻罐与缓冲罐，用于将光阻罐内光阻传送至缓冲罐中。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻 输送管 输送系统 光阻涂布设备 可伸缩的 中空结构 缓冲罐 螺旋状 缓冲 连通 传送 申请 | ||
【主权项】：
1.一种光阻输送管，其特征在于，所述光阻输送管为弹性中空结构，且所述光阻输送管整体呈可伸缩的螺旋状，所述光阻输送管连通于光阻罐与缓冲罐，用于将光阻罐内光阻传送至缓冲罐中。
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