[实用新型]一种匀气冷却装置用内部水路检测机构有效
申请号: | 201821666184.5 | 申请日: | 2018-10-15 |
公开(公告)号: | CN209178518U | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 游利 | 申请(专利权)人: | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B25/14 | 分类号: | C30B25/14;C30B25/16;G01J5/00 |
代理公司: | 靖江市靖泰专利事务所 32219 | 代理人: | 陆平 |
地址: | 214500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种匀气冷却装置用内部水路检测机构,包括匀气冷却装置,匀气冷却装置的内部设置有若干冷却水路,匀气冷却装置边缘设置有进水柱和出水柱,进水柱与出水柱对称设置,所述的匀气冷却装置设置在基座上,基座内部设置有加热模块,并通过导线与温控模块相连接,温控模块设置在基座的外部下方;所述的基座设置在其下方的支撑工作台上,水冷装置设置在支撑工作台的左侧或右侧,水冷装置通过连接水管与匀气冷却装置相连接;所述的匀气冷却装置的上方设置有热成像仪;本实用新型结构简单,稳定性好,易于操作,适用于在零件发给客户前进行检测,可以很容易检测内部的水路是否有堵塞,便于及时维修;有效保证了出货产品的合格率;大大提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 气冷却装置 水路 水冷装置 温控模块 出水柱 进水柱 本实用新型 支撑工作台 边缘设置 出货产品 对称设置 基座内部 加热模块 冷却水路 连接水管 内部设置 热成像仪 生产效率 检测 合格率 堵塞 维修 客户 外部 支撑 保证 | ||
【主权项】:
1.一种匀气冷却装置用内部水路检测机构,包括匀气冷却装置(1),匀气冷却装置(1)的内部设置有若干冷却水路,匀气冷却装置(1)边缘设置有进水柱(9)和出水柱(10),进水柱(9)与出水柱(10)对称设置,其特征在于:所述的匀气冷却装置(1)设置在基座(2)上,基座(2)内部设置有加热模块,并通过导线与温控模块(5)相连接,温控模块(5)设置在基座(2)的外部下方;所述的基座(2)设置在其下方的支撑工作台(3)上,水冷装置(4)设置在支撑工作台(3)的左侧或右侧,水冷装置(4)通过连接水管与匀气冷却装置(1)相连接;所述的匀气冷却装置(1)的上方设置有热成像仪(6)。
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