[实用新型]一种防止光阻回流的装置有效
| 申请号： | 201821646630.6 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN208706574U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王玉政;程虎 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/027 | 分类号： | H01L21/027;H01L21/67 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体处理系统中对光阻处理的领域，具体的说是一种更换光阻瓶时防止光阻回流的装置，包括光阻管路、光阻瓶盖、光阻瓶、防空管堵、光阻瓶托板及称重传感器，光阻瓶放置在光阻瓶托板上，光阻瓶托板上安装有称重传感器；光阻管路安装在光阻瓶盖上，并伸入光阻瓶中，光阻管路位于光阻瓶内的末端安装有防空管堵，防空管堵的上表面高于光阻管路末端出口的端面。本实用新型可以防止更换光阻时管道内光阻回流，一方面可以减少因光阻管道空管造成后续管路排泡的工作量，提高工作效率，另一方面减少光阻的浪费，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻 光阻瓶 管堵 托板 本实用新型 称重传感器 防空 瓶盖 半导体处理系统 工作效率 管路安装 管路末端 管路排 上表面 空管 伸入 工作量 节约 出口 | ||
【主权项】：
1.一种防止光阻回流的装置，其特征在于：包括光阻管路(1)、光阻瓶盖(2)、光阻瓶(3)、防空管堵(4)、光阻瓶托板(5)及称重传感器(6)，其中光阻瓶(3)放置在光阻瓶托板(5)上，该光阻瓶托板(5)上安装有称重传感器(6)；所述光阻管路(1)安装在光阻瓶盖(2)上，并伸入光阻瓶(3)中，该光阻管路(1)位于所述光阻瓶(3)内的末端安装有防空管堵(4)，所述防空管堵(4)的上表面(8)高于光阻管路(1)末端出口的端面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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