[实用新型]一种自动匀胶设备有效
| 申请号： | 201821640033.2 | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN209393478U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 李卫国;陈志勤;陆前军;王子荣;李城林;赵伍林 | 申请（专利权）人： | 东莞市中图半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C9/14;B05B15/55 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动匀胶设备，该自动匀胶设备包括：匀胶模块，包括匀胶吸片台和滴胶管，所述匀胶吸片台用于承载并吸附放置于所述匀胶吸片台上的衬底，还用于旋转所述衬底使所述衬底的涂胶面匀胶；所述滴胶管位于所述匀胶吸片台的上方，用于滴胶至所述匀胶吸片台上的所述衬底上；匀胶冷却模块，包括冷却喷嘴，所述冷却喷嘴设置于所述匀胶吸片台上放置的衬底的下方，用于喷射冷却液体至所述衬底朝向所述匀胶吸片台的一面，进行匀胶冷却。本实用新型提供的自动匀胶设备，保证了衬底在匀胶前温度的均匀，可以提高自动匀胶设备的匀胶的膜厚均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 匀胶 衬底 匀胶设备 吸片台 滴胶 吸片 本实用新型 冷却喷嘴 膜厚均匀性 冷却模块 喷射冷却 涂胶面 吸附 冷却 承载 保证 | ||
【主权项】：
1.一种自动匀胶设备，其特征在于，包括：匀胶模块，包括匀胶吸片台和滴胶管，所述匀胶吸片台用于承载并吸附放置于所述匀胶吸片台上的衬底，还用于旋转所述衬底使所述衬底的涂胶面匀胶；所述滴胶管位于所述匀胶吸片台的上方，用于滴胶至所述匀胶吸片台上的所述衬底上；匀胶冷却模块，包括冷却喷嘴，所述冷却喷嘴设置于所述匀胶吸片台上放置的衬底的下方，用于喷射冷却液体至所述衬底朝向所述匀胶吸片台的一面，进行匀胶冷却。
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