[实用新型]一种用于多颗晶粒拾取和放置的多孔性陶瓷吸盘

摘要

本实用新型公开一种用于多颗晶粒拾取和放置的多孔性陶瓷吸盘，包括多孔性陶瓷吸盘本体，所述多孔性陶瓷吸盘本体的上端面两侧边缘处均开设有卡槽，多孔性陶瓷吸盘本体的内部均匀开设有若干个微细孔，多孔性陶瓷吸盘本体的四个侧壁均匀开设有若干个螺丝孔，多孔性陶瓷吸盘本体的底端面通过真空吸引吸附有吸附工件，该多孔性陶瓷吸盘，采用陶瓷材料，具有高耐热性、耐化学腐蚀性、绝缘性高及耐磨耗性，耐磨耗性具有耐损耗性能，可长期使用，绝缘性高属于绝缘材质，具备消散静电特性优点，通过高密度的微细孔，使吸附力分布均匀，不会对一些为薄膜吸附工件造成表面凹陷现象。

主权项

1.一种用于多颗晶粒拾取和放置的多孔性陶瓷吸盘，包括多孔性陶瓷吸盘本体(1)，其特征在于：所述多孔性陶瓷吸盘本体(1)的上端面两侧边缘处均开设有卡槽(3)，多孔性陶瓷吸盘本体(1)的内部均匀开设有若干个微细孔(2)，多孔性陶瓷吸盘本体(1)的四个侧壁均匀开设有若干个螺丝孔(4)，多孔性陶瓷吸盘本体(1)的底端面通过真空吸引吸附有吸附工件(5)；所述多孔性陶瓷吸盘本体(1)的上端面插接在转接外壳(6)底端面开设的凹槽(13)内，转接外壳(6)的侧壁通过若干个自攻丝(7)与多孔性陶瓷吸盘本体(1)的外侧壁固定，且自攻丝(7)的一端螺纹安装在螺丝孔(4)内，凹槽(13)的顶部内壁开设有用于插接在卡槽(3)内部的卡块(12)，凹槽(13)的内侧壁与多孔性陶瓷吸盘本体(1)的外侧壁连接处粘贴有第一橡胶密封垫(8)；所述转接外壳(6)的上端面中心处开设有管道安装孔(10)，管道安装孔(10)内螺纹连接有真空管道(11)的底端，管道安装孔(10)的内部存放有硅橡胶密封圈(14)。