[实用新型]一种PVD镀膜实验机有效
| 申请号： | 201821409665.8 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN208717424U | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 夏白杨 | 申请（专利权）人： | 深圳市智创谷技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PVD镀膜实验机，包括炉体，炉体左端设有真空腔入口，真空腔入口连接多泵体输送通道，多泵体输送通道中设有多个泵体，炉体中设有真空腔，炉体的真空腔中设有工作转架，工作转架上设有多个挂杆，炉体内设有多种不同的溅射源预留位，包括不同直径的中频圆柱磁控靶、矩形平面靶、多弧靶和离子源孔位，通过多种不同放射源包括不同直径的中频圆柱磁控靶、矩形平面靶、多弧靶和离子源孔位的更换和组合和组合，在保证PVD镀膜实验机满足其基本适用行业的基础上，可以为不同行业的镀膜及镀膜研究使用，满足多行多业对PVD镀膜实验机的需求，增加了PVD镀膜实验机的广泛适用性，本实用新型结构简单、实用性强、易于使用和推广。 | ||
| 搜索关键词： | 实验机 真空腔 炉体 泵体 本实用新型 矩形平面靶 输送通道 磁控靶 离子源 镀膜 孔位 转架 放射源 入口连接 溅射源 预留位 多行 挂杆 左端 体内 保证 研究 | ||
【主权项】：
1.一种PVD镀膜实验机，包括炉体（1），其特征在于，所述炉体（1）左端设有真空腔入口（5），所述真空腔入口（5）连接多泵体输送通道，多泵体输送通道中设有多个泵体，所述炉体（1）中设有真空腔，所述炉体（1）的真空腔中设有工作转架（10），工作转架（10）上设有多个挂杆（9），所述炉体（1）内设有多种不同的溅射源预留位，包括不同直径的中频圆柱磁控靶、矩形平面靶、多弧靶和离子源孔位。
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