[实用新型]一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台有效
申请号: | 201821103427.4 | 申请日: | 2018-07-12 |
公开(公告)号: | CN208570528U | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 张奇;李京涛;韩云霄 | 申请(专利权)人: | 麦斯克电子材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 王学鹏 |
地址: | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台,晶体定向仪包括工作台、X射线发生器、测角仪和电气控制机构,测量平台包括测样底盘和定位机构,测样底盘的下表面设有滑座,侧面设有定位机构,工作台上设有与滑座相匹配的圆形导轨;定位机构包括立柱和杆状指针,立柱垂直设置在测样底盘的侧面,立柱的顶端设有开槽,杆状指针水平设置在开槽内,并将与定位槽切合的尖端指向测样底盘内侧,杆状指针与尖端相对的一端设有数显角度仪;本实用新型在原有晶体定向仪的基础上,在工作台上增加测量平台,不改变原有的晶体定向仪的结构,适用性强,结构调整简单、方便,时间短,提高了设备使用的效率,便于解决6英寸定位槽晶向偏差的测量问题。 | ||
搜索关键词: | 定位槽 底盘 测样 晶体定向仪 定位机构 测量 杆状 立柱 指针 滑座 开槽 电气控制机构 本实用新型 测量问题 垂直设置 尖端相对 尖端指向 结构调整 设备使用 水平设置 圆形导轨 侧面 测角仪 角度仪 下表面 原有的 工作台 晶向 数显 匹配 切合 | ||
【主权项】:
1.一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台,晶体定向仪包括工作台、X射线发生器、测角仪和电气控制机构,其特征在于,所述测量平台包括测样底盘和定位机构,所述测样底盘的下表面设有滑座,侧面设有定位机构,所述工作台上设有与所述滑座相匹配的圆形导轨;所述定位机构包括立柱和杆状指针,所述立柱垂直设置在所述测样底盘的侧面,所述立柱的顶端设有开槽,所述杆状指针水平设置在所述开槽内,并将与定位槽切合的尖端指向所述测样底盘内侧,所述杆状指针与尖端相对的一端设有数显角度仪。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造