[实用新型]一种全自动晶圆保护膜撕膜机有效
| 申请号： | 201821022470.8 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN208576269U | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 朱红伟;袁泉;王丽;王倩 | 申请（专利权）人： | 江苏纳沛斯半导体有限公司 |
| 主分类号： | B32B38/10 | 分类号： | B32B38/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223002 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种全自动晶圆保护膜撕膜机，包括撕膜机构、压膜机构和保护布遮盖基座，所述保护布遮盖基座固定连接在撕膜机外壳的上表面边缘位置处，所述保护布遮盖基座的内侧设置有撕膜机保护布，所述撕膜机保护布的上表面固定连接有保护布收折杆，且保护布收折杆与保护布遮盖基座滑动连接；通过设计了安装在撕膜机外壳上表面的撕膜机保护布以及撕膜机保护布上表面的保护布收折杆便于在不影响取出晶圆的情况下也能够遮盖撕膜机外壳防止异物卡住机器，解决了现有的全自动晶圆保护膜撕膜机均设有较大开口供其部分机构活动，但开口本身本无任何遮盖措施，从而导致其在不使用时易进入异物，从而卡住机器部件，阻碍机器正常运作的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 保护布 撕膜机 遮盖 晶圆 保护膜 收折杆 上表面 卡住 本实用新型 上表面边缘 外壳上表面 防止异物 滑动连接 机器部件 撕膜机构 压膜机构 正常运作 位置处 异物 开口 取出 阻碍 | ||
【主权项】：
1.一种全自动晶圆保护膜撕膜机，包括撕膜机构、压膜机构和保护布遮盖基座（1），其特征在于：所述保护布遮盖基座（1）固定连接在撕膜机外壳（8）的上表面边缘位置处，所述保护布遮盖基座（1）的内侧设置有撕膜机保护布（11），所述撕膜机保护布（11）的上表面固定连接有保护布收折杆（10），且保护布收折杆（10）与保护布遮盖基座（1）滑动连接，所述撕膜机保护布（11）的一端与撕膜机构固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏纳沛斯半导体有限公司，未经江苏纳沛斯半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821022470.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
