[实用新型]一种具有剔除功能的硅片输送机构

摘要

本实用新型公开了一种具有剔除功能的硅片输送机构，设置在前段硅片传送线和后段硅片传送线之间，包括机架、设置在所述机架上的硅片输送面、设置于所述硅片输送面一侧的硅片检测组件和设置在所述后段硅片传送线下方的接料盒；所述硅片输送面的前端与所述前段硅片传送线对接，所述硅片输送面的后端包括与所述后段硅片传送线对接的第一位置以及与所述接料盒对接的第二位置。该具有剔除功能的硅片输送机构，兼具硅片输送功能与不合格硅片剔除功能，可根据不合格硅片的情况灵活执行硅片输送操作或不合格硅片剔除操作，自动化程度高，便于控制，无需停机即可剔除传送线上的不合格硅片，提高了硅片传输效率；且该硅片输送机构结构简单、占用空间小。

主权项

1.一种具有剔除功能的硅片输送机构，设置在前段硅片传送线和后段硅片传送线之间，其特征在于，该硅片输送机构包括机架、设置在所述机架上的硅片输送面、设置于所述硅片输送面一侧的硅片检测组件和设置在所述后段硅片传送线下方的接料盒；所述硅片输送面的前端与所述前段硅片传送线对接，所述硅片输送面的后端包括与所述后段硅片传送线对接的第一位置以及与所述接料盒对接的第二位置；其中，在所述机架的前端固定安装有转轴，所述硅片输送面包括前端连接在所述转轴上、可绕所述转轴转动的托板以及连接在所述托板两侧的传送带，所述传送带由电机驱动运行以运送所述硅片输送面上的硅片；在所述托板的底部设置有气缸组件，所述气缸组件包括连接在所述机架上的缸体和可在所述缸体内做直线往复运动的活塞杆，所述活塞杆的自由端连接所述托板的底部，所述活塞杆可带动所述托板绕所述转轴转动以使所述硅片输送面的后端与所述后段硅片传送线或所述接料盒对接；所述硅片检测组件用于检测所述硅片输送面上的硅片是否合格，当所述硅片输送面上的硅片合格时，所述硅片输送面的后端与所述后段硅片传送线对接，所述传送带将该合格硅片运送至所述后段硅片传送线上；当所述硅片输送面上的硅片不合格时，所述硅片输送面的后端与所述接料盒对接，所述传送带将该不合格硅片运送至所述接料盒内。