[实用新型]光罩检验支架有效
| 申请号： | 201820852869.2 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN208239286U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 赵子翔;庄奎乾;熊波;崔兴永 | 申请（专利权）人： | 深圳市科利德光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市龙岗区龙岗街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种光罩检验支架，所述光罩检验支架包括基座和枢接于基座上的旋转架，所述旋转架上设置有用于固定光罩的边缘部位的限位结构，所述基座和旋转架之间还设置有用于将位于初始位置和旋转到预定角度时的旋转角度位置的旋转架相对于基座固定的锁定结构。本实用新型实施例通过基座和枢接于基座上的旋转架的结构，采用旋转旋转架的方式对光罩进行正面、背面检查，避免检验员频繁前后走动观察导致浮灰扬起而影响光罩的检验效果；通过基座和旋转架之间的锁定结构，可以自由调节光罩检验支架的运动状态，方便检验员操作，检验员可以在不移动位置的前提下，依据自己的检验习惯来自由调整检验角度，充分发挥个人检验能力，提高检验效率。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转架 检验 光罩 支架 本实用新型 枢接 锁定 旋转角度位置 边缘部位 限位结构 移动位置 运动状态 自由调节 自由调整 固定的 走动 背面 观察 检查 | ||
【主权项】：
1.一种光罩检验支架，其特征在于，所述光罩检验支架包括基座和枢接于基座上的旋转架，所述旋转架上设置有用于固定光罩的边缘部位的限位结构，所述基座和旋转架之间还设置有用于将位于初始位置和旋转到预定角度时的旋转角度位置的旋转架相对于基座固定的锁定结构。
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