[实用新型]一种坩埚和蒸镀用蒸发源有效
| 申请号： | 201820791262.8 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN208183062U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 李发顺;贾晓晨;雷东 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种坩埚和蒸镀用蒸发源，属于蒸镀技术领域，其可解决现有的坩埚的不同区域的放热量不同导致喷嘴的蒸镀效率不一致，影响整体膜层的均一性的问题。本实用新型的坩埚中在金属的壁面内侧设置了无机非金属材质的热传导层，该坩埚用于蒸镀时，在其内加入预蒸镀的原料，坩埚外部的加热元件将金属的壁面加热，金属的壁面将热量传递给热传导层，热传导层作为有机材料的热源，由于热传导层为无机非金属材质，相较于现有的局部排布电热丝对有机材料进行加热的方式，热传导层的热稳定性和热均一性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 热传导层 蒸镀 壁面 本实用新型 无机非金属 有机材料 均一性 蒸发源 金属 加热 加热元件 热量传递 热稳定性 喷嘴 不一致 电热丝 放热量 整体膜 热源 排布 预蒸 外部 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚，包括锅体，其特征在于，所述锅体的至少部分壁面内设有热传导层，所述壁面由金属材料构成，所述热传导层由无机非金属材料构成。
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