[实用新型]一种电增强氢钝化设备

摘要

本实用新型公开了太阳能电池片制造装备领域内的一种电增强氢钝化设备，包括机架，所述机架上并列设置有若干个单炉，所述单炉内依次设置有待料区、工艺腔和冷却区，所述待料区、工艺腔和冷却区的下方对应设有传动组件，所述工艺腔的左右两侧均设有可升降的闸板，工艺腔内设有可上下移动的上电极组件和下电极组件，上电极组件和下电极组件互相对应设置，所述工艺腔和冷却区内均设有冷却组件。本实用新型能够有效降低碎片率和坏片率；注入连续，可缩短整体注入时间；各单炉的工位独立工作，互不影响；工艺腔的温度控制更稳定，电流注入连续，电池提效的效果好。

主权项

1.一种电增强氢钝化设备，包括机架，其特征在于，所述机架上并列设置有若干个单炉，所述单炉内依次设置有待料区、工艺腔和冷却区，所述待料区、工艺腔和冷却区的下方对应设有传动组件，所述工艺腔的左右两侧均设有可升降的闸板，工艺腔内设有可上下移动的上电极组件和下电极组件，上电极组件和下电极组件互相对应设置，所述工艺腔和冷却区内均设有冷却组件。