[实用新型]一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构有效
| 申请号： | 201820347815.0 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN207973799U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 徐祖元 | 申请（专利权）人： | 广东汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人： | 赵真 |
| 地址： | 517000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，所述靶芯包括靶头，所述靶头上依次套设有轴套、石墨碳环、弹簧和锁紧螺母，所述轴套与石墨碳环之间设有密封圈，所述锁紧螺母与弹簧之间设有垫环，所述靶头的外侧面上设有定位槽，所述定位槽位于垫环和石墨碳环的安装位上，并与靶头的轴线平行设置，所述垫环的内侧壁上设有与定位槽相适配的垫环定位销。本实用新型目的在于提供一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，这种改动结构简单，而且可以有效的防止靶材靶芯漏水现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 靶芯 靶材 垫环 卷绕式真空镀膜机 改进结构 石墨碳环 定位槽 靶头 本实用新型 锁紧螺母 弹簧 轴套 密封圈 漏水现象 轴线平行 安装位 定位销 内侧壁 适配 | ||
【主权项】：
1.一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，所述靶芯包括靶头(1)，所述靶头(1)上依次套设有轴套(2)、石墨碳环(3)、弹簧(4)和锁紧螺母(5)，所述轴套(2)与石墨碳环(3)之间设有密封圈(8)，所述锁紧螺母(5)与弹簧(4)之间设有垫环(6)，其特征在于：所述靶头(1)的外侧面上设有定位槽(101)，所述定位槽(101)位于垫环(6)和石墨碳环(3)的安装位上，并与靶头(1)的轴线平行设置，所述垫环(6)的内侧壁上设有与定位槽(101)相适配的垫环定位销(601)。
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