[实用新型]一种组合硅芯、组合硅芯单元体以及还原炉

摘要

本实用新型提供一种组合硅芯、组合硅芯单元体以及还原炉。该组合硅芯，其包括至少两个硅芯单元，每个硅芯单元具有第一侧以及远离第一侧的第二侧，所有硅芯单元的第一侧组合在一起，每个硅芯单元从第一侧向第二侧延伸，相邻硅芯单元的第二侧之间具有间隙；硅芯单元沿组合硅芯的圆周方向均匀设置。该组合硅芯单元体，包括导电连接装置和至少两个上述组合硅芯。该还原炉，包括钟罩、底盘以及上述组合硅芯单元体，组合硅芯单元体安装至底盘。组合硅芯的截面形成散射状的形状，组合硅芯增加发生化学反应的硅芯表面的面积，提高晶体硅的沉积速度。

主权项

1.一种组合硅芯，其特征在于，其包括至少两个硅芯单元，每个所述硅芯单元具有第一侧以及远离所述第一侧的第二侧，所有所述硅芯单元的所述第一侧组合在一起，每个所述硅芯单元从所述第一侧向所述第二侧延伸，相邻所述硅芯单元的所述第二侧之间具有间隙；所述硅芯单元沿所述组合硅芯的圆周方向均匀设置。