[实用新型]垂直型溅射系统有效
| 申请号： | 201820112880.5 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN208038541U | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 白雨成;全义九;李相文;张昌泳;丁钟国;边娜恩 | 申请（专利权）人： | 株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 韩国京畿道华城*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种垂直型溅射系统，包括与地面垂直设置在第一溅射枪的第一垂直靶材组件；及设置在面对第一溅射枪的第二溅射枪，并设置为与第一垂直靶材组件相隔彼此面对的第二垂直靶材组件，第一及第二垂直靶材组件分别包括释放薄膜形成物质的靶材；将靶材固定在溅射枪的靶材夹具；覆盖靶材夹具，并与靶材连接相同电极的屏蔽部件。本实用新型优点如下：靶材夹具与屏蔽部件之间不会发生短路，可以对被溅镀物有效地进行溅射。本实用新型使被溅镀物可通过相互面对垂直设置的一对垂直靶材组件，具有可以减小安装面积的优点。而且，相互面对的2个垂直靶材组件分别向相互面对的2个被溅镀物进行溅镀，具有提高溅射生产率的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材组件 靶材 溅射 垂直 溅镀 夹具 本实用新型 溅射系统 屏蔽部件 垂直型 薄膜形成物质 彼此面对 垂直设置 地面垂直 电极 短路 有效地 减小 相隔 释放 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种垂直型溅射系统，其特征在于，包括：与地面垂直设置在第一溅射枪的第一垂直靶材组件；及设置在面对所述第一溅射枪的第二溅射枪，并设置为与所述第一垂直靶材组件相隔彼此面对的第二垂直靶材组件，所述第一垂直靶材组件及第二垂直靶材组件分别包括释放薄膜形成物质的靶材；将所述靶材固定在溅射枪的靶材夹具；覆盖所述靶材夹具，并与所述靶材连接相同电极的屏蔽部件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司，未经株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820112880.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种溅镀装置
- 下一篇：一种金属手机外壳的真空镀膜机
- 同类专利
- 专利分类
