[发明专利]一种通用掩模夹盘在审

专利信息
申请号: 201811650687.8 申请日: 2018-12-31
公开(公告)号: CN109557763A 公开(公告)日: 2019-04-02
发明(设计)人: 陈青 申请(专利权)人: 无锡中微掩模电子有限公司
主分类号: G03F1/68 分类号: G03F1/68;B25B11/00
代理公司: 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 代理人: 刘刚
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种通用掩模夹盘,包括外部夹盘和内部夹盘,外部夹盘内侧设有内部夹盘,外部夹盘底部四周均匀设有四个固定轴,外部夹盘通过底部的固定轴固定于内部夹盘的外侧,外部夹盘顶部均匀设有四个七寸版限位杆,内部夹盘上靠内侧均匀设有四个五寸版限位杆,内部夹盘上靠外侧均匀设有四个六寸版限位杆,五寸版限位杆和六寸版限位杆均与内部夹盘固定连接,且每个七寸版限位杆、五寸版限位杆以及六寸版限位杆内侧均设有L型卡槽,本发明所达到的有益效果是:本发明结构紧凑,使用方便,功能实用,较传统的夹盘而言,无需在制作不同尺寸的掩模时更换夹盘,既省时又省力。
搜索关键词: 夹盘 限位杆 外部 通用掩模 固定轴 传统的 省时 掩模 省力 制作
【主权项】:
1.一种通用掩模夹盘,其特征在于,包括外部夹盘(1)和内部夹盘(2),所述外部夹盘(1)内侧设有内部夹盘(2),所述外部夹盘(1)底部四周均匀设有四个固定轴(3),所述外部夹盘(1)通过底部的固定轴(3)固定于内部夹盘(2)的外侧,所述外部夹盘(1)顶部均匀设有四个七寸版限位杆(4),所述内部夹盘(2)上靠内侧均匀设有四个五寸版限位杆(5),所述内部夹盘(2)上靠外侧均匀设有四个六寸版限位杆(6),所述五寸版限位杆(5)和六寸版限位杆(6)均与内部夹盘(2)固定连接,且每个所述七寸版限位杆(4)、五寸版限位杆(5)以及六寸版限位杆(6)内侧均设有L型卡槽。
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